MEMS測試 - 懸臂梁

微懸臂是最簡化但也是最多樣化的MEMS設備

微懸臂是許多設備和應用程序的基本結構元素

Inertial sensors 慣導器件

RF MEMS 射頻開關

Biomedical MEMS 生物微機系統

Energy Harvesting 能量回收系統

Molecule Detection 分子檢測

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MEMS懸臂梁:有限元驗證

MEMS懸臂梁的三維測試

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