MEMS測試 - 壓力傳感器

為什么需要光學測量技術？

      MEMS系統需要通過一些部分的動作用于傳感和驅動

      微鏡，加速計，陀螺儀，膜式傳感器，壓力傳感器等…

      電路測試可用于設備是否正常工作的測試

      不能確定設備的精確行為

      不能測量到器件在工作過程中的實際形態變化.

                                  光學測量可以!

壓力傳感器的共振和工作振型

      最早的MEMS設備之一，各種類型，不同的應用

      一些和性能相關的參數，如膜厚度或內部應力無法通過電學方式測量

                         f = 227 kHz                                                  f = 437 kHz                                                      f = 842 kHz

壓力傳感器: 參數識別

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